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磨料相对工件的硬度对磨料的作用机制有着重要影响。当磨粒硬度相对工件太大时,在抛光压力作用下很容易导致磨粒嵌入工件表面,在抛光表面残留 划 痕、磨蚀坑;磨粒硬度相对于工件太小时,又会延长加工时间。研究表明抛光过程中纳米磨料所发生的自身变形量与磨料的硬度成反比,硬度低的纳米磨料由于自身变形量大,其切入工件的深度小,工件抛光表面粗糙度低。
磨料在粒径大小可影响到磨粒的压强及其切入工件的深度。一般来说,在抛光过程中,粒径大的磨粒压强大,机械去除作用较强,材料去除率较高。所以粒径较大的磨粒容易在抛光表面产生较大的残留划痕甚至残留裂纹;而粒径较小的磨粒可获得较好的抛光表面质量。另外在磨粒直径相同的情况下,球形磨粒比表 面不平的磨粒去除效率更高。
2 ph值调节剂
抛光液中常常添加一些化学试剂用于调节抛光液的ph值,以保证抛光过程化学反应的进行,化学机械抛光抛光液一般分为酸性和碱性两大类。
酸性抛光液最早是由化学腐蚀液改进而来的,具有溶解性强、氧化剂选择范 围大、抛光效率高等优点,常用于金属材料的抛光。酸性抛光液的ph值一般为4左右,可通过加入有机酸作为ph调节剂。其缺点是腐蚀性强,对抛光设备要求高 ,选择性较低,但是可加入抗蚀剂苯并三唑来提高其选择性,不过bta的引入会影响抛光液的稳定性。
碱性抛光液具有选择性高、腐蚀性弱等优点,一般用于非金属材料的抛光。 碱性抛光液的ph值往往在10~11.5范围内,常采用添加无机碱作为ph值调节剂,但其不足之处是在碱性溶液中很难找到氧化性强的氧化剂,因而抛光效率很低
不锈钢切削液在机械性能方面具有高的抗拉强度、屈服强度、延伸率和冲击值,而且其高温强度和硬度亦高,另外,不锈钢还具有很高的耐腐蚀和耐高温等特点。在物理性能方面其导热点较低,由于这些性能,使其切削加工具有以下四个特点,即:①切削力大,②切削温度高, ③粘刀现象严重,④加工硬化趋势强。由于以上的切削特性,不锈钢在切削过程中表现出切削功率消耗大,切削温度高,出现刀具寿命短和加工工件表面质量低等现象。
所以,针对不锈钢的切削特点,其切削液必须具有优良的润滑、冷却性能和渗透能力,还应具有一定的防锈清洗性能。